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质量流量控制器（DS300）

Sevenstar / 七星流量计

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<p style="box-sizing: border-box; animation-fill-mode: both; padding-bottom: 15px; list-style-type: none; color: rgb(89, 89, 89); font-family: "Helvetica Neue", Helvetica, Arial, sans-serif; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255); line-height: 1.75em;">优势<p style="box-sizing: border-box; animation-fill-mode: both; padding-bottom: 15px; list-style-type: none; color: rgb(89, 89, 89); font-family: "Helvetica Neue", Helvetica, Arial, sans-serif; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255); line-height: 1.75em;">• 控制精度高，精度可达±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。 • 响应速度快，响应时间≤ 0.5sec。 • 采用基于压力原理的流量传感器技术，使产品具有压力不敏感特性，能够适用较大的气源压力波动。 • DS300采用有效的机械加工技术与表面处理技术解决深小孔不能或者很难电抛光(EP)的难题，实现孔径相对较小(孔径<1mm)、深径比相对较大(>10)的不锈钢小孔、深盲孔以及交叉孔的表面电化学抛光处理，完全符合SEMI标准要求。
质量流量控制器（CS200）

Sevenstar / 七星流量计

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CS200H质量流量控制器是七星流量计生产的数字型高温产品，其电气和机械部分采用分体式的设计，通过高温线缆连接，可以实现在高温环境下工作，能够满足复杂多变的半导体测量需求。 优势• 控制器工作温度：90~120℃。• 高控制精度：产品精度可达±1.0% S.P.(≥35%F.S.)。• 快速响应，响应时间≤ 0.8sec。• 采用恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。• 产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS200产品金属表面粗糙度更可达10RA以下，严格按照SEMI标准生产制造。• 支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字，模拟输入输出。• 产品尺寸符合国际通用的SEMI标准，RS485，DeviceNet通讯方式。
质量流量控制器（流量计CS100）

Sevenstar / 七星流量计

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拥有恒功率传感器技术，数字传感器平衡技术，VCP线控制技术的基础上，采用客户定制化设计，客户可根据需要选用符合自身需求的产品；同时零点补唯功能(CGC)，能够解决由于客户地线连接导致的MFC精度不准问题，使产品更好的适应客户环境。 优势• CS100产品采用客户定制化设计，• 客户可根据需要选用±15V双电源或+24单电源供电;• 金属密封或橡胶密封;• 产品尺寸可选用符合国际通用的SEMI标准的产品，也可选用紧缩型产品。
质量流量计（D07-19)

Sevenstar / 七星流量计

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D07-19是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。D07-19产品是七星流量计研发精度高、响应时间快的模拟产品。
单路显示仪（D08-1F）

Sevenstar / 七星流量计

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流量显示仪用于为气体质量流量控制器（MFC）和质量流量计（MFM）提供工作电源、操作控制、流量设定和流量数字显示等。可直接与七星华创公司的质量流量控制器和质量流量计配套使用，也可与国外质量控制器配合使用。
多路显示仪（D08-2F/3F/4F）

Sevenstar / 七星流量计

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流量显示仪用于为气体质量流量控制器（MFC）和质量流量计（MFM）提供工作电源、操作控制、流量设定和流量数字显示等。可直接与我公司的质量流量控制器和质量流量计配套使用，也可与国外质量控制器配合使用。外形简洁，可以直接放置在工作台或桌面上使用。可独立控制个流量计，可选型号D08-2F/3F/4F。

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