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质量流量控制器(DS300)
    发布时间: 2021-03-15 15:54    

优势

• 控制精度高,精度可达±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
• 响应速度快,响应时间≤ 0.5sec。
• 采用基于压力原理的流量传感器技术,使产品具有压力不敏感特性,能够适用较大的气源压力波动。
• DS300采用有效的机械加工技术与表面处理技术解决深小孔不能或者很难电抛光(EP)的难题,实现孔径相对较小(孔径<1mm)、深径比相对较大(>10)的不锈钢小孔、深盲孔以及交叉孔的表面电化学抛光处理,完全符合SEMI标准要求。